凯美特气光刻气拿到ASML供应商“入场券” 建12套电子特种气体生产装置实现中国造

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来源：长江商报

通过不断的应商技术积累，已在电子特气领域收获颇丰，建套并逐步走向国际。种气置实

2月2日，产装凯美特气（002549.SZ）公告称，现中公司控股子公司收到ASML子公司Cymer公司发来的入场券合格供应商认证函，Cymer公司已将凯美特电子特种气体公司光刻气产品列入合格供应商名单。凯美

凯美特气表示，特气体生本次认证通过有利于公司提高在光刻气领域内的光刻L供国造认可度和知名度，使公司的电子特气产品走向国际化，对公司拓展光刻气产品销售业务具有积极作用。

据了解，目前，凯美特气已建成并投入12套电子特种气体生产及辅助装置。未来电子特种稀有气体正式投入市场将打破国外跨国公司在这一领域的垄断地位，实现芯片、半导体等高科技领域中电子特种稀有气体的“中国造”。

使电子特气产品走向国际化

凯美特气是对石油化工尾气（废气）火炬气回收利用的专业环保企业，主要产品为高纯食品级液体二氧化碳、液氧、液氮和液氩。四家分公司均利用二氧化碳超高提纯技术（已获国家专利）生产食品级二氧化碳产品。

2月2日，凯美特气公告称，公司控股子公司岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司（简称“凯美特电子特种气体公司”）于当日收到ASML子公司Cymer公司发来的合格供应商认证函，凯美特电子特种气体公司生产的光刻气产品通过了Cymer公司审查，Cymer公司已将凯美特电子特种气体公司光刻气产品列入合格供应商名单。

资料显示，ASML子公司Cymer是世界领先的准分子激光源提供商，是深紫外技术的行业领导者，是ASML集团内一家独立运营的企业。

Cymer公司发明了如今半导体制造中最关键的光刻技术所需的深紫外（DUV）光源，开发、制造和服务深紫外（DUV）光源。产品组合包括使用氟化氩（ArF）或氟化氪（KrF）气体产生深紫外光的准分子激光器。Cymer光源在批量生产符合特定规格的世上最先进的半导体芯片时起着决定性的作用。

凯美特气表示，公司光刻气产品通过Cymer公司的合格供应商认证，是Cymer公司对公司在光刻气生产领域的生产能力、产品质量的认可，也是公司先进的产品生产技术、钢瓶内壁处理技术、气体分析技术等各方面综合实力、竞争优势的体现。本次认证通过有利于公司提高在光刻气领域内的认可度和知名度，使公司的电子特气产品走向国际化，对公司拓展光刻气产品销售业务具有积极作用。

不过，凯美特气也提醒，公司获得ASML子公司Cymer公司合格供应商认证函体现了头部光刻机激光设备厂商对公司光刻气产品的认可。Cymer公司本身不直接采购光刻气产品，本次认证暂时未对公司的光刻气产品营业收入、利润产生直接影响。

一般而言，集成电路领域的认证至少需要两年时间，一旦获得客户认可，一般不会轻易更换供应商。这也表示，凯美特气以后进入光刻气行业市场，不再只是第三方代理销售。

二级市场上，受此利好消息影响，2月2日，凯美特气收获涨停板。

纯化处理水平远高于国内水平

电子气体是现代工业之基石，被誉为晶圆制造之“血液”。随着国内晶圆厂陆续扩产，作为半导体的主要材料，电子特气需求旺盛。

凯美特气主要产品由于纯度高、质量稳定，得到广大客户的认可。公司已与多家下游企业建立了长期、稳定的合作关系。

据了解，凯美特气食品级液体二氧化碳产品已被可口可乐和百事可乐等公司确认为在中国的策略供应商，并为杭州娃哈哈集团、屈臣氏集团、百威英博啤酒集团、、华润雪花啤酒、、集团、中烟集团等众多知名食品饮料烟草客户和集团、、、、、、杉杉能源等特大型工业客户广泛采用。

此外，凯美特气高品质的电子特种气体、激光混配气体已得到国内外多家高端客户的认可。

从2011年上市开始，凯美特气业绩基本保持增长趋势，营业收入从2011年的1.33亿元，增长至2021年的6.68亿元。同期，公司净利润也从7470.80万元增长至1.39亿元。

2022年前三季度，凯美特气营业收入达5.45亿元，同比增长12.08%；净利润达1.16亿元，同比增长13.09%，均保持了中高速增长水平，全年业绩有望创历史新高。

自2018年有统计数据以来，凯美特气研发费用始终保持增长，从2148.45万元增至2021年的4289.85万元。2022年前三季度，公司研发费用达3161.59万元，同比增长2.25%。

2021年，凯美特气相继通过了法国液空、美国相干的稀有气体、混配气认证，电子特气业务开始逐渐放量。

目前，凯美特气已建成并投入12套电子特种气体生产及辅助装置。公司电子特气采用深冷精馏、物理化学吸附等先进技术设备，生产超高纯气体和混合多元气，纯化处理水平远高于国内水平。

凯美特气表示，公司电子特种稀有气体项目采用深冷精馏、物理化学吸附等先进技术及设备，生产半导体、航天、医疗等领域急需的超高纯气体和多元混配气，有利于进一步扩充公司气体产品种类，树立公司在特种稀有气体行业的高品质形象，未来电子特种稀有气体正式投入市场将打破国外跨国公司在这一领域的垄断地位，实现芯片、半导体等高科技领域中电子特种稀有气体的“中国造”。

在电子气体领域，凯美特气也有强劲的对手，公司是继，国内第二家获得ASML认证的电子特气厂商。

资料显示，华特气体已实现20多种气体产品的进口替代，是国内唯一一家通过荷兰ASML和日本GIGAPHOTON株式会社认证的气体公司。

当前，华特气体开发的高纯一氧化碳、高纯一氧化氮等代表产品，已批量供应长江存储等国内头部厂商，成为全国最大的氮化镓厂和碳化硅厂的供应商。

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